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媒體報道
萬業企業全資子公司凱世通榮獲北京市科技進步獎一等獎
2020/4/14 16:23:57


      中新網上海新聞4月6日電  萬業企業全資子公司凱世通在此間發布消息稱,3月26日,北京市科學技術委員會公示的2019年度北京市科學技術獎項目評審結果中,萬業企業全資子公司凱世通等共同承擔的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目成功榮膺科技進步獎一等獎。

  離子注入市場規模大,行業壁壘打破難度高

  凱世通是目前國內唯一覆蓋集成電路、光伏及AMOLED離子注入機三大類設備的制造企業,其研發生產的離子注入機是半導體制造工藝中技術最為復雜的設備之一。離子注入機與光刻機、刻蝕設備和薄膜沉積設備被并稱為集成電路制造的“四大金剛”。據資料查詢,萬業企業于2018年成功收購離子注入機制造商凱世通,向集成電路轉型邁出關鍵的一步。離子注入是通過對半導體材料表面進行某種元素的摻雜,從而改變其特性的工藝制程,在集成電路(IC)工業中得到廣泛的應用。作為離子注入制程的裝備—離子注入機,是先進IC生產線上最關鍵的工具之一,每年全球擁有15-20億美金的市場規模。


凱世通IC離子注入機


  同時,據廣發證券分析了解,離子注入機行業還存在較高競爭壁壘,行業集中度較高,整體而言整個市場主要由美國廠商壟斷,美國應用材料公司和美國Axcelis公司合計占據全球70%以上的市場。分領域來看,半導體制造領域應用材料、Axcelis和漢辰科技AIBT地位領先,太陽能電池生產領域主要為中國大陸萬業企業旗下凱世通、美國Intevac和日本真空技術三家,其中萬業企業旗下凱世通競爭地位領先。

  產業項目有序推進,產品服務持續突破

  根據萬業企業最新動態了解,萬業企業全資子公司凱世通的低能大束流集成電路離子注入機日前也已搬進杭州灣潔凈室,目前正在根據集成電路芯片客戶工藝要求,進行離子注入晶圓驗證階段。這標志著公司已具備先進制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力,未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導體等不同應用領域芯片客戶提供離子注入工藝驗證服務,提升客戶晶圓制造能力與芯片性能。

  此次凱世通低能大束流離子注入機的遷機成功,也標志著其產品在低能和大束流等核心指標,特別是束流強度指標上,已達到或超過國外同類產品,因此可更好的降低單位成本消耗,滿足國內集成電路行業實際應用。

  值得注意的是,隨著集成電路工藝技術的持續提升,晶體管不斷縮小,集成電路制程進一步向尖端工藝發展,這對相關生產制造設備也提出了更高的要求。在此背景下,萬業企業聚焦的技術含量最高的低能大束流離子注入機日漸成為主流。根據有關資料顯示,目前低能大束流離子注入機已占有離子注入機市場份額的55%。

  結合國內外集成電路制程技術路線現狀,凱世通采取“領先一步”的策略、采用有國際競爭力設計理念,著力研制16納米及以下制程的FinFET集成電路離子注入機,并針對研制低能大束流離子注入機所需要解決的關鍵技術和技術難點,建立起相應的研發平臺、相關核心關鍵技術及工藝的研究參數數據庫和性能檢測規范標準。

  同時,在面對集成電路離子注入機較低的生產率、昂貴的造價和龐大的占地面積等眾多挑戰下。凱世通根據太陽能電池工藝的實際情況和需求,為光伏產業量身訂制眾多產品,大大降低客戶的固定資產投資規模、增加產品的市場競爭力,保證了高效的生產率和較低的制造成本,為客戶產線升級和高效電池的生產提供了一條有效途徑。目前凱世通產品不斷深入國內市場,并已進入國內多家知名客戶,太陽能離子注入機產品的主要客戶為中來股份、英利集團、錦州華昌、蘇州國鑫、陜西有色等,實現銷售量數十臺。


凱世通IC離子注入機


  北京市科學技術獎是北京市政府在科技方面的最高獎項,由北京市人民政府設立,旨在獎勵做出重大科學發現、重大技術發明,完成和應用推廣創新性科技成果,在推動科技進步和經濟社會發展方面具有突出貢獻的個人和組織。此次凱世通大束流離子注入機裝備及工藝研發項目獲得科學技術進步獎,標志著凱世通的技術研發實力有了進一步的提升和突破,也無疑成為萬業企業轉型集成電路的助推器。

  公司表示,凱世通目前正持續加大對集成電路離子注入機的研發力度,力爭盡快培育出有市場競爭力的量產機型。此外,公司未來將繼續依托國內外雙渠道資源力量,以“外延并購+產業整合”雙輪驅動模式,“集成電路+產業投資+產業園”三駕馬車并駕齊驅前行,全面轉型為集成電路高端裝備材料龍頭,助力國產集成電路的整體發展,致力于將公司打造成中國集成電路裝備的大國重器。(完)

此報道轉載自中新網上海、中國新聞網。

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